基于图案化表面的皮升量级的超微量注射器及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811507716.5
IPC分类号：B81B7/04;B81C1/00
申请日期：
2018-12-11
申请人：
吉林大学

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专利名称	基于图案化表面的皮升量级的超微量注射器及其制备方法
申请号	CN201811507716.5	申请日期	2018-12-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-12	公开/公告号	CN109607471A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B7/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B7/00 微观结构系统〔7，2006.01〕 B81B7/04 类似的微观结构装置的网络或排列〔7，2006.01〕	IPC分类号	B;8;1;B;7;/;0;4;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	吉林大学	申请人地址	吉林省长春市前进大街2699号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	吉林大学	当前权利人	吉林大学
发明人	张俊虎;于年祚;杨柏
代理机构	长春吉大专利代理有限责任公司	代理人	刘世纯

摘要

本发明公开了基于图案化表面的皮升数量级的注射器及其制备方法，属于材料科学技术领域，本发明的方法涉及光刻技术与等离子刻蚀方法结合制备硅片表面的微米图案化结构阵列，通过气相沉积技术对图案化结构进行表面修饰与玻璃微孔道结合进而用于超微量液体的获取。本发明的超微量注射器可以实现准确的连续的获取皮升数量级的多种液体，并且液体的获取过程具有很好的稳定性和重复性。通过与玻璃材质微孔道结合，避免了因小微米孔道坍塌而导致的皮升数量级液滴获取失败。超微量注射器中流体获取的实现依赖于对基底结构气液固三相线的调控，并且芯片由玻璃和硅材料制成，不存在由孔道塌陷对液体获取造成的误差，本发明的获取液体准确率高达98％以上。

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