旋转阴极组件和涂覆系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202110280195.X
IPC分类号：C23C14/35;C23C14/32
申请日期：
2021-03-16
申请人：
蒸汽技术公司

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著录项信息

专利名称	旋转阴极组件和涂覆系统
申请号	CN202110280195.X	申请日期	2021-03-16
法律状态	公开	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-09-17	公开/公告号	CN113403592A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;3;2查看分类表>
申请人	蒸汽技术公司	申请人地址	美国科罗拉多州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	蒸汽技术公司	当前权利人	蒸汽技术公司
发明人	S·W·迈尔斯三世;Z·泽姆鲍尔
代理机构	上海德昭知识产权代理有限公司	代理人	郁旦蓉

摘要

本申请提供了一种旋转阴极组件和包括旋转阴极组件的涂覆系统。该旋转阴极组件包含：阴极，所述阴极具有管状形状并且限定了中空中心部；包围所述阴极的屏蔽件，所述屏蔽件限定了暴露所述阴极的一部分的进入开口；以及旋转磁体子组件，所述旋转磁体子组件布置在所述阴极的中空中心部内。所述旋转磁体子组件包含具有第一磁场强度的第一磁性部件以及具有第二磁场强度的第二磁性部件。所述第一磁场强度大于所述第二磁场强度。特征在于，所述第一磁体部件和所述第二磁性部件能够在第一位置与第二位置之间旋转，在所述第一位置，所述第一磁性部件面向所述进入开口，在所述第二位置，所述第二磁性部件面向所述进入开口。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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