超声喷雾隧道炉及用于制备大面积二氧化锡透明导电膜的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200910043342.0
IPC分类号：F27B9/02;F27B9/12;F27B9/24;F27B9/30;H01L31/0224
申请日期：
2009-05-11
申请人：
湖南师范大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	超声喷雾隧道炉及用于制备大面积二氧化锡透明导电膜的方法
申请号	CN200910043342.0	申请日期	2009-05-11
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-10-28	公开/公告号	CN101566430
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F27B9/02 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F27 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕 F27B 一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备（燃烧设备入F23；电加热入H05B） F27B9/00 在其内机械移动炉料的炉，例如隧道式的（F27B 7/14优先）；类似的炉料靠重力在炉内移动的炉 F27B9/02 多轨道式的；多室式的；炉的组合	IPC分类号	F;2;7;B;9;/;0;2;;;F;2;7;B;9;/;1;2;;;F;2;7;B;9;/;2;4;;;F;2;7;B;9;/;3;0;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;2;4查看分类表>
申请人	湖南师范大学	申请人地址	湖南省长沙市岳麓区麓山路36号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖南师范大学	当前权利人	湖南师范大学
发明人	羊亿;彭星煜;李广
代理机构	长沙星耀专利事务所	代理人	赵静华

摘要

本发明公开了一种超声喷雾隧道炉及用于制备大面积二氧化锡透明导电膜的方法。超声喷雾隧道炉包括加热区、工作区、退火保温区三个区域，设置在工作区衬底材料上方的喷嘴，与喷嘴连接的超声起雾器，所述喷嘴上端设有5～30个雾气进气管道，喷嘴靠近隧道炉出口一侧设有废气排出通道，在废气排出通道的上方设有5－30废气排出管道，废气排出管道与抽气泵连接。本发明可使雾气在喷嘴内均匀喷出，成膜均匀；可降低喷嘴内温度，可减少大颗粒雾膜的生成；可有助于废气排出及制备出均匀、表面光滑的薄膜并可降低HCl对网带的腐蚀；其升降装置有助于调整喷嘴与衬底表面距离，获得最佳沉积参数。采用网带传送，结构简单，适合工业化流水线生产。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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