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偏振移相双剪切干涉波面测量仪

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200720075604.8
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2007-10-19
  • 申请人:
    中国科学院上海光学精密机械研究所
著录项信息
专利名称偏振移相双剪切干涉波面测量仪
申请号CN200720075604.8申请日期2007-10-19
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人中国科学院上海光学精密机械研究所申请人地址
上海市800-211邮政信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所当前权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人王利娟;刘立人;栾竹;孙建锋;周煜
代理机构上海新天专利代理有限公司代理人张泽纯
摘要
一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪,该测量仪的构成是沿光束的前进方向依次包括:第一雅敏平行平板、左下楔形光学平板、左上楔形光学平板、右下楔形光学平板、右上楔形光学平板、第二雅敏平行平板、偏振移相器、成像镜组和图像传感器,该图像传感器的输出端接计算机。本实用新型不仅保持了双剪切干涉波面测量仪的所有特点,而且具有灵敏度高、能精确测量任意对称波面并给出完整波面轮廓等优点。

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