一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用

发明专利无效专利

申请号：
CN201110262186.4
IPC分类号：F16F1/02;B81C1/00;B82B3/00;B82Y15/00
申请日期：
2011-09-06
申请人：
复旦大学

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著录项信息

专利名称	一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用
申请号	CN201110262186.4	申请日期	2011-09-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-01-04	公开/公告号	CN102305256A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F16F1/02 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F16 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 F16F 弹簧；减震器；减振装置 F16F1/00 弹簧（用流体工作入F16F 5/00，F16F 9/00） F16F1/02 由低内摩擦的钢或其他材料制造的（F16F 1/36优先）；盘簧、扭簧、片簧、杯簧、环管或类似弹簧，不涉及弹簧材料〔6〕	IPC分类号	F;1;6;F;1;/;0;2;;;B;8;1;C;1;/;0;0;;;B;8;2;B;3;/;0;0;;;B;8;2;Y;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	复旦大学	申请人地址	上海市杨浦区邯郸路220号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	复旦大学	当前权利人	复旦大学
发明人	李伟明;黄高山;吴晓京;梅永丰
代理机构	上海正旦专利代理有限公司	代理人	陆飞;盛志范

摘要

本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；选择性地除去在金属条以及衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧。该金属纳米/微米弹簧可用于流量传感器的测量，具体是将带有金属微米/纳米弹簧的衬底固定在流体通道内部；当流体流过通道时，弹簧达到平衡状态，通过测量弹簧的伸长量来测量流体流速。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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