一种精密运动补偿器、XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201910020237.9
IPC分类号：G12B5/00
申请日期：
2019-01-09
申请人：
广东工业大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种精密运动补偿器、XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统
申请号	CN201910020237.9	申请日期	2019-01-09
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-03-29	公开/公告号	CN109545271A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G12B5/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G2 核子学 G12 仪器的零部件 G12B 仪器的结构零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件 G12B5/00 仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整，例如，水平调整；倾斜或加速影响的补偿，例如，用于光学仪器的	IPC分类号	G;1;2;B;5;/;0;0查看分类表>
申请人	广东工业大学	申请人地址	广东省广州市越秀区东风东路729号大院变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东工业大学	当前权利人	广东工业大学
发明人	张揽宇;高健;陈文华;张金迪;梁俊朗;钟耿君;赵光同;陈新;贺云波
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	张春水;唐京桥

摘要

本申请实施例公开了一种精密运动补偿器，具有基底与微动台，基底包括底座与固定设置在底座上的凸台；微动台的底面具有相对设置并垂直底面的压电侧侧板与弹簧侧侧板；弹簧侧侧板与凸台的第一端面之间设置有预紧压缩的弹簧，压电侧侧板与凸台的位于第一端面对侧的第二端面之间夹设有压电陶瓷；基底上设置有滑动组件，微动台与滑动组件连接，并可基于滑动组件沿弹簧的轴向滑动；还具有测量部件，用于测量微动台的位置；解决了现有的压电陶瓷和柔性铰链配合的结构运用时误差较大，平台宏动时的振动抵消和微动时的精确定位都难以符合要求的技术问题。本申请实施例还公开了一种XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统。

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