一种直拉单晶炉用组合坩埚

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020691462.X
IPC分类号：C30B15/10
申请日期：
2010-12-30
申请人：
山东伟基炭科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种直拉单晶炉用组合坩埚
申请号	CN201020691462.X	申请日期	2010-12-30
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/10 承载熔融液的坩埚或容器〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;1;0查看分类表>
申请人	山东伟基炭科技有限公司	申请人地址	山东省济南市高新技术开发区舜华东路666号金智源IT工业园5号楼203室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山东伟基炭科技有限公司	当前权利人	山东伟基炭科技有限公司
发明人	刘添华;邹志勇;薛伟;张江城;靳忠磊;张洪义
代理机构	济南舜源专利事务所有限公司	代理人	苗峻

摘要

本实用新型公开了一种直拉单晶炉用组合坩埚，是一种用于承托石英坩埚的组合坩埚。其包括圆盘状的石墨材质的底座(1)，设在底座(1)上与底座(1)配合的由炭/炭复合材料制成的圆筒状的筒体(3)，在筒体(3)与底座(1)形成的空腔底部设有石墨材质的垫块(2)，所述垫块(2)沿周向由至少两瓣组成，垫块(2)具有与单晶炉的石英坩埚埚底相配合的凹形曲面。本实用新型具有强度高、使用寿命长、加工简单，制造成本低的优点。

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