等离子处理方法及其处理装置

发明专利无效专利

申请号：
CN95121151.X
IPC分类号：--
申请日期：
1995-12-28
申请人：
住友重机械工业株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	等离子处理方法及其处理装置
申请号	CN95121151.X	申请日期	1995-12-28
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	1996-11-13	公开/公告号	CN1135538
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	住友重机械工业株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	住友重机械工业株式会社	当前权利人	住友重机械工业株式会社
发明人	酒见俊之;田中胜
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	叶恺东;王忠忠

摘要

在包括真空容器和设置在该真空容器内的等离子束发生器以及配置在真空容器内的主蒸发台，并使从等离子发生器发生的等离子束入射至主蒸发台上的等离子处理装置中，在主蒸发台附近相对主蒸发台的中心轴线同轴地配置永久磁铁和蒸发台线圈。通过使供给该蒸发台线圈的电流变化调整物质熔化的能力并且调整蒸镀物质蒸发粒子的飞行分布。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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