不规则表面的楔形压印图案形成

发明专利有效专利

申请号：
CN200980123574.5
IPC分类号：B29C59/02
申请日期：
2009-04-17
申请人：
麻省理工学院;1366科技公司

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著录项信息

专利名称	不规则表面的楔形压印图案形成
申请号	CN200980123574.5	申请日期	2009-04-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-05-18	公开/公告号	CN102066089A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B29C59/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B29 塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工 B29C 塑料的成型或连接；塑性状态材料的成型，不包含在其他类目中的；已成型产品的后处理，例如修整（制作预型件入B29B 11/00；通过将原本不相连接的层结合成为各层连在一起的产品来制造层状产品入B32B 7/00至B32B 41/00）〔4〕 B29C59/00 表面成型，如压花；所用的设备〔4〕 B29C59/02 用机械方法，如压制〔4〕	IPC分类号	B;2;9;C;5;9;/;0;2查看分类表>
申请人	麻省理工学院;1366科技公司	申请人地址	美国麻萨诸塞州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	麻省理工学院,1366科技公司	当前权利人	麻省理工学院,1366科技公司
发明人	B·F·波利托;H·G·加特斯;E·M·萨奇斯
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	李湘;高为

摘要

通过将弹性印模压按到抗蚀材料的薄层上来制造用于光伏和其他用途的图案化的衬底，所述材料覆盖衬底，诸如晶圆。该抗蚀体改变相态或变成可流动，从压印位置流出，显露该衬底，该衬底被经受一些成型工艺，通常为蚀刻。由该模印暴露的部分被去除，并且由该抗蚀体保护的部分被保留。典型的衬底是硅，并且典型的抗蚀体是蜡。工件纹理包括延伸的槽，分离的、分隔的凹坑，以及它们的组合和它们的中间体。可使用平板或旋转图案形成装置。粗糙的和不规则的工件衬底可通过延伸的印模元件而被调节。抗蚀体可以被首先施用到该工件，该印模，或实质上同时，在任一个的分离的位置中，或在任一个的整个表面上。当期望时，该抗蚀体完全地去湿润所述衬底。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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