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减少无定形碳硬掩模膜的碳-氢含量的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610077441.0
  • IPC分类号:H01L21/033;C23C16/26
  • 申请日期:
    2016-02-03
  • 申请人:
    朗姆研究公司
著录项信息
专利名称减少无定形碳硬掩模膜的碳-氢含量的方法
申请号CN201610077441.0申请日期2016-02-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-10-12公开/公告号CN106024596A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/033IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;3;3;;;C;2;3;C;1;6;/;2;6查看分类表>
申请人朗姆研究公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人朗姆研究公司当前权利人朗姆研究公司
发明人法亚兹·谢赫;西丽斯·雷迪
代理机构上海胜康律师事务所代理人樊英如;李献忠
摘要
本发明涉及减少无定形碳硬掩模膜的碳‑氢含量的系统及方法。用于沉积无定形碳硬掩模膜的系统及方法包括:将衬底布置在处理室中;供给载气至所述处理室;供给烃前体至所述处理室;将来自由WFa、NFb、SFc和F2组成的群组中的氟前体供给至处理室,其中a、b和c是大于零的整数;供给等离子体到所述处理室或使等离子体在所述处理室产生中的一者,其中来自所述氟前体的氟与来自所述烃前体的氢在气相反应中结合;以及在所述衬底上沉积无定形碳硬掩模膜。

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