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激光光线的光点形状检测方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510494227.0
  • IPC分类号:B23K26/073;B23K26/70;B23K26/364;B23K26/402
  • 申请日期:
    2015-08-12
  • 申请人:
    株式会社迪思科
著录项信息
专利名称激光光线的光点形状检测方法
申请号CN201510494227.0申请日期2015-08-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-03-02公开/公告号CN105364302A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/073IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;0;7;3;;;B;2;3;K;2;6;/;7;0;;;B;2;3;K;2;6;/;3;6;4;;;B;2;3;K;2;6;/;4;0;2查看分类表>
申请人株式会社迪思科申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社迪思科当前权利人株式会社迪思科
发明人浅野健司;能丸圭司;约耳·科维尔;桐原直俊;畑雄大;伊藤优作
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人李辉;金玲
摘要
激光光线的光点形状检测方法。包括:凹面镜保持工序,在被加工物保持单元上保持反射面为球面的凹面镜;分支单元定位工序,将分支单元定位于作用位置处,该分支单元使激光光线从激光光线振荡单元向聚光器通过,并且将由聚光器会聚且被保持于被加工物保持单元的凹面镜的反射面反射的反射光引导至反射光检测路径;焦点定位工序,将聚光器的焦点定位于包括形成保持于被加工物保持单元的凹面镜的反射面的球面中心的附近处;激光光线照射工序,使激光光线振荡单元进行工作,将由聚光器会聚的激光光线照射到保持于被加工物保持单元的凹面镜上;以及摄像工序,通过摄像单元对被凹面镜的反射面反射且由分支单元引导至检测路径的反射光进行摄像而取得图像。

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