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使用激光辅助金属化和图案化衬底提供印刷电路板的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200680049424.0
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2006-12-13
申请人：
英特尔公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	使用激光辅助金属化和图案化衬底提供印刷电路板的方法
申请号	CN200680049424.0	申请日期	2006-12-13
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-01-14	公开/公告号	CN101347053
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	英特尔公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	英特尔公司	当前权利人	英特尔公司
发明人	I·A·萨拉马
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	柯广华;张志醒

摘要

通过以下步骤制造印刷电路：对衬底的金属面板(1000)进行激光投影图案化；在金属面板上层压电介质层(1200)，对衬底进行激光辐照以在衬底中形成通路(1400)，在衬底上激光激活晶种(1510)涂层，从衬底的未图案化部分(1620)清洗晶种涂层，在衬底上形成图案化堆积层，以及蚀刻掉金属面板以便形成金属突起。

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