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一种带式活动掩膜电解加工微织构的装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910673940.X
  • IPC分类号:B23H3/00;B23H11/00
  • 申请日期:
    2019-07-25
  • 申请人:
    河南理工大学
著录项信息
专利名称一种带式活动掩膜电解加工微织构的装置
申请号CN201910673940.X申请日期2019-07-25
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2019-11-15公开/公告号CN110449673A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23H3/00IPC分类号B;2;3;H;3;/;0;0;;;B;2;3;H;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人河南理工大学申请人地址
河南省焦作市高新区世纪大道2001号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人河南理工大学当前权利人河南理工大学
发明人明平美;申继文;张新民;郑兴帅;闫亮;秦歌;李欣潮;王伟;张云燕;牛屾
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种带式活动掩膜电解加工微织构技术及装置,包括喷嘴、电解电源、工件、阴极、掩膜带、储带轮、收带轮和驱动源;带有镂空图案的掩膜带在收带轮和储带轮等共同作用下紧密压贴在工件表面并形成包角,阴极安设于工件的正下方并与掩膜带的另一面紧密接触;收带轮持续回收掩膜带,从而带动工件和阴极同步旋转,并携带电解液进入加工间隙;被掩膜带包裹但未被屏蔽的工件表面区域在电解液与电场等的综合作用下不断地被选择性溶解,直到工件的圆柱表面都被加工。本发明提出了一种带式活动掩膜电解加工微织构新技术,能够提高工艺柔性和适应性,并实现掩膜与工件表面的紧密可靠贴合与微织构的高一致性、无接缝的制备。

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