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一种微波水热制备CoTiO3薄膜的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310631645.0
  • IPC分类号:C23C18/14
  • 申请日期:
    2013-11-28
  • 申请人:
    陕西科技大学
著录项信息
专利名称一种微波水热制备CoTiO3薄膜的方法
申请号CN201310631645.0申请日期2013-11-28
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2014-03-19公开/公告号CN103643224A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C18/14IPC分类号C;2;3;C;1;8;/;1;4查看分类表>
申请人陕西科技大学申请人地址
陕西省西安市未央区大学园1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人陕西科技大学当前权利人陕西科技大学
发明人卢靖;黄剑锋;曹丽云;冀涛;惠变玲
代理机构西安通大专利代理有限责任公司代理人蔡和平
摘要
一种微波水热制备CoTiO3薄膜的方法,将六水硝酸钴加入到无水乙醇中配制成透明溶液A;向其中加入钛酸丁酯,制得混合溶液B;向混合溶液B中加入柠檬酸,然后加入水,搅拌均匀制得作为镀膜液的溶液C;将溶液C倒入水热反应釜中,然后将双氧水活化过的硅基片浸于溶液C中,再密封水热反应釜并放入温压双控微波水热反应仪中,选择控温模式或者控压模式进行反应,反应结束后自然冷却到室温,然后打开水热反应釜取出双氧水活化过的硅基片并清洗表面残余的溶液C,最后放入真空燥箱中干燥,即得到CoTiO3薄膜。该方法制备工艺简单、周期短且节省能源,所制备的薄膜纯度高,均一性较好。

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