首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

一种蓝宝石加工方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201610531250.7
IPC分类号：H01L21/02;H01L21/86
申请日期：
2016-07-07
申请人：
浙江水晶光电科技股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种蓝宝石加工方法
申请号	CN201610531250.7	申请日期	2016-07-07
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-10-26	公开/公告号	CN106057647A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;8;6查看分类表>
申请人	浙江水晶光电科技股份有限公司	申请人地址	浙江省台州市椒江区星星电子产业园区A5号楼水晶光电科技变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江水晶光电科技股份有限公司	当前权利人	浙江水晶光电科技股份有限公司
发明人	余晓斌;邹魏
代理机构	杭州杭诚专利事务所有限公司	代理人	尉伟敏

摘要

本发明公开了一种蓝宝石加工方法，旨在提供一种能够在保证和提高蓝宝石衬底的加工质量的同时，降低蓝宝石衬底的加工成本并提高加工效率的加工方法。它依次包括以下步骤A晶棒切割，B研磨处理，C清洗，D退火处理，E清洗,F化学机械抛光处理。化学机械抛光处理的研磨液为氧化铝抛光液。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供