流体控制器的异常检测装置、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器

发明专利有效专利

申请号：
CN201880004412.9
IPC分类号：G01M3/26
申请日期：
2018-02-06
申请人：
株式会社富士金

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著录项信息

专利名称	流体控制器的异常检测装置、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器
申请号	CN201880004412.9	申请日期	2018-02-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-07-05	公开/公告号	CN109983318A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M3/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M3/00 结构部件的流体密封性的测试 G01M3/02 应用流体或真空 G01M3/26 通过测量流体的增减速率，例如，用压力响应装置，用流量计〔2〕	IPC分类号	G;0;1;M;3;/;2;6查看分类表>
申请人	株式会社富士金	申请人地址	日本国大阪府大阪市西区立壳堀2丁目3番2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社富士金	当前权利人	株式会社富士金
发明人	原田章弘;西野功二;土肥亮介;川田幸司;杉田胜幸;池田信一;山路道雄;篠原努;丹野龙太郎;河内勇人
代理机构	北京汇思诚业知识产权代理有限公司	代理人	龚敏;王刚

摘要

在流体控制器中，即使在流体的泄漏很少的情况下，也能够检测到泄漏。另外，通过利用信息通信技术，从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有：压力传感器(11)，其检测封闭空间(S)内的压力；处理模块，其执行给定的信息处理；以及拆装机构，其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP)，并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别流体控制器(2)的异常，并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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