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盘形涡轮分子泵

发明专利无效专利

申请号：
CN87103982.6
IPC分类号：--
申请日期：
1987-06-03
申请人：
中国科学院北京真空物理实验室

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	盘形涡轮分子泵
申请号	CN87103982.6	申请日期	1987-06-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院北京真空物理实验室	申请人地址	北京市海淀区中关村变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院北京真空物理实验室	当前权利人	中国科学院北京真空物理实验室
发明人	朱岳;王孝珍;竺长新
代理机构	中国科学院专利事务所	代理人	关玲;方国成

摘要

本发明涉及一种改进的盘形分子泵。该泵可由一级或多级串联构成。每一级由一片带有涡轮叶齿的旋转圆盘和一片在盘面上开有圆弧线形抽气沟槽或直线形抽气沟槽的定圆盘组成。定圆盘上抽气沟槽也可以是其他线形，如对数线形。多级泵定圆盘的两侧面都有抽气沟槽。本泵具有制造工艺简单，抽气性能好等特点。

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