齿条-小齿轮机构、真空处理装置、齿条-小齿轮机构的驱动控制方法、驱动控制程序及记录介质

发明专利无效专利

申请号：
CN200980149561.5
IPC分类号：F16H19/04;B65G49/06;C23C14/56;C23C16/44;H01L21/677
申请日期：
2009-12-09
申请人：
佳能安内华股份有限公司

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著录项信息

专利名称	齿条-小齿轮机构、真空处理装置、齿条-小齿轮机构的驱动控制方法、驱动控制程序及记录介质
申请号	CN200980149561.5	申请日期	2009-12-09
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-11-16	公开/公告号	CN102245934A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F16H19/04 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F16 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 F16H 传动装置 F16H19/00 主要只带有齿轮或摩擦元件并且不能传送无限连续旋转运动的传动装置（带间歇传动元件的入F16H 27/00至F16H 31/00；用于起重或牵引的绳索或滑车入B66D 3/00） F16H19/02 用于旋转运动和往复运动的互相转换 F16H19/04 包括齿条	IPC分类号	F;1;6;H;1;9;/;0;4;;;B;6;5;G;4;9;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人	佳能安内华股份有限公司	申请人地址	日本神奈川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能安内华股份有限公司	当前权利人	佳能安内华股份有限公司
发明人	田中康友
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇;张会华

摘要

以简单的机构避免由于齿条和小齿轮的相位错位而引起齿尖彼此碰撞，从而使齿条和小齿轮顺畅地啮合。齿条-小齿轮机构设有固定于载置台(20)的齿条(16)和连结于驱动源(13)的多个小齿轮(17)，所述载置台用于搭载被搬运物并在搬运轨道上移动，这些小齿轮中，至少两个小齿轮同步旋转而依次与齿条啮合，由此将齿条从当前工序的小齿轮向下一工序的小齿轮交接而将其搬运，该齿条-小齿轮机构具有：用于检测小齿轮的相位差值的部件；该齿条-小齿轮机构具有控制装置(25)，该控制装置具有用于存储检测部件所检测到的小齿轮的相位差值的存储部(27)，该控制装置基于当前工序的小齿轮的相位差值，对下一工序的小齿轮的相位差值进行控制。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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