检测微元件封闭腔的气密性的方法和实施该方法的微元件

发明专利无效专利

申请号：
CN200480034136.9
IPC分类号：B81C5/00;B81B7/00;G01M3/38;G01M3/40;G01M3/04;G01M3/02;H01L23/20;H01L23/26;H01L23/00;H01L23/10
申请日期：
2004-11-08
申请人：
阿苏拉布股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	检测微元件封闭腔的气密性的方法和实施该方法的微元件
申请号	CN200480034136.9	申请日期	2004-11-08
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-01-10	公开/公告号	CN1894156
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C5/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C5/00 （转入B81C 99/00）	IPC分类号	B;8;1;C;5;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;0;;;G;0;1;M;3;/;3;8;;;G;0;1;M;3;/;4;0;;;G;0;1;M;3;/;0;4;;;G;0;1;M;3;/;0;2;;;H;0;1;L;2;3;/;2;0;;;H;0;1;L;2;3;/;2;6;;;H;0;1;L;2;3;/;0;0;;;H;0;1;L;2;3;/;1;0查看分类表>
申请人	阿苏拉布股份有限公司	申请人地址	瑞士马林变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	斯沃奇集团研究和开发有限公司	当前权利人	斯沃奇集团研究和开发有限公司
发明人	F·古伊萨兹;J·-P·兰丁
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	肖春京;谭祐祥

摘要

为了控制至少一个微元件(1)的封闭腔(14)的气密性的方法，所述元件包括制作在衬底(2)之上或其一部分上的一个结构(5，6，10)，一个固定在该衬底的部分区域上用以保护该结构的罩子(3)，和在有反应流体的情况下其光学或电性能会发生改变的监测元件(4，15)。该监测元件对光学检测可以是铜层(4)或对电检测是钯电阻(15)。该微元件(1)置于而后将被气密封闭的容器内。该容器再加压反应物流体填充，即对光学控制用氧气，对电控制用氢气。在一段规定时间内容器内的元件受到反应流体的高于10巴的压力，且受到热活化(T＞100℃)或光学活化(A＜500nm)。在该时间段之后，通过监测元件(4，15)的光学或电控制来确定所述封闭腔(14)的气密性。

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