光栅衍射效率的测量装置和方法

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专利名称	光栅衍射效率的测量装置和方法
申请号	CN200910050311.8	申请日期	2009-04-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-09-30	公开/公告号	CN101545826
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市800-211邮政信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人	汪剑鹏;麻健勇;晋云霞;刘光辉;邵建达;范正修
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯

摘要

一种光栅衍射效率的测量装置和方法，该装置包括单色光源、分束器、光栅旋转台、探测器、二维平移台和计算机，特点是采用第二探测器和第三探测器分别在小圆弧和大圆弧上移动探测待测光栅衍射光束L3的能量，达到了减小测量盲区和降低光学平台尺度要求的目的。采用双光路同步测量消除光源的不稳定引起的测量误差。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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