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废气处理装置

实用新型无效专利
  • 申请号:
    CN200820114165.1
  • IPC分类号:B01D53/74
  • 申请日期:
    2008-05-26
  • 申请人:
    福建钧石能源有限公司
著录项信息
专利名称废气处理装置
申请号CN200820114165.1申请日期2008-05-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D53/74IPC分类号B01D53/74查看分类表>
申请人福建钧石能源有限公司申请人地址
变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人福建钧石能源有限公司,北京精诚铂阳光电设备有限公司当前权利人福建钧石能源有限公司,北京精诚铂阳光电设备有限公司
发明人林朝晖;李沅民
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种废气处理装置,所述装置包括炉体,在所述炉体内部具有由加热部件定义的高温通道,所述高温通道中装满碎块填充物,所述炉体上包括进气口和出气口,废气从进气口进入高温通道,流过所述填充物后由出气口排出,所述进气口和出气口处具有隔栅,用于限制所述填充物并允许气体流过。本实用新型的废气处理装置能够以低成本和简单可靠的方式将多种半导体生产过程中产生的废气处理为无害的物质后排放,而且具有很高的废气处理率。

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