传送式基板处理装置

发明专利无效专利

申请号：
CN01804737.8
IPC分类号：--
申请日期：
2001-12-07
申请人：
住友精密工业株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	传送式基板处理装置
申请号	CN01804737.8	申请日期	2001-12-07
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-02-19	公开/公告号	CN1398425
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	住友精密工业株式会社	申请人地址	日本国兵库县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	住友精密工业株式会社	当前权利人	住友精密工业株式会社
发明人	下田亨志;田内仁
代理机构	北京三幸商标专利事务所	代理人	刘激扬

摘要

本发明的目的在于提供适用于Al腐蚀、可以将Al层的边缘面形成为适合下一层的层积的平缓的倾斜面的传送式基板处理装置。为了实现该目的，在从多个喷射喷嘴(34a)向基板(100)的整个表面供给处理液的喷淋单元(34)的下游侧，设置一级或多级缝隙喷嘴(35)，向基板表面的宽度方向整个区域膜状地供给处理液。通过使用缝隙喷嘴(35)的化学刮刀处理，实现在基板(100)的表面上较薄地载置处理液的涂浆的状态。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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