多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110142471.2
IPC分类号：C01B3/50
申请日期：
2011-05-30
申请人：
四川新光硅业科技有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法
申请号	CN201110142471.2	申请日期	2011-05-30
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-11-23	公开/公告号	CN102249186A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B3/50 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B3/00 氢；含氢混合气；从含氢混合气中分离氢；氢的净化（用固体碳质物料生产水煤气或合成气入C10J）〔3〕 C01B3/50 氢或含氢气体从混合气体中的分离，如净化（C01B 3/14优先）〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;/;5;0查看分类表>
申请人	四川新光硅业科技有限责任公司	申请人地址	四川省乐山市乐高大道2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	四川新光硅业科技有限责任公司	当前权利人	四川新光硅业科技有限责任公司
发明人	王岭;刘小锋;刘畅;周祥顺
代理机构	四川力久律师事务所	代理人	曹晋玲;林辉轮

摘要

本发明涉及气体分离方法领域。本发明公开了一种多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，包括如下步骤：（1）氢气尾气经干法回收后，用脱氯剂脱氯，将氢气尾气中的氢气与氯化氢、氯硅烷分离；（2）经步骤（1）脱氯后的氢气尾气，用活性炭吸附氢气尾气中的杂质，得到除杂后的氢气。通过本发明方法回收的氢气纯度高，能直接用于电子级多晶硅的生产。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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