无掩模被覆金属的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN85107549
IPC分类号：--
申请日期：
1985-10-14
申请人：
国际商用机器公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	无掩模被覆金属的方法
申请号	CN85107549	申请日期	1985-10-14
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	1986-08-13	公开/公告号	CN85107549
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	国际商用机器公司	申请人地址	美国纽约州10504阿蒙克变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	国际商用机器公司	当前权利人	国际商用机器公司
发明人	莱斯特·维恩·赫罗恩;阿纳达·霍萨克里·卡马
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利代理部	代理人	郁玉成

摘要

对已有金属图形进行被覆的无掩膜金属被覆法中，采用了隔离保护层来保护它下面的不希望覆盖其它金属的区域，以不使重金属在上沉积及随后扩散。选择该层的组成，使其具有经受处理和支撑金属被覆层的足够机械强度，以及具有经受金属溅散和扩散过程中高温的热牢固性。此保护层含有有机成分粘结剂，此粘结剂在沉积金属前的加热步骤中、或就在扩散过程中热分解，留下一个惰性的、不含碳的无机隔离层来支持金属被覆层。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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