感光性树脂组合物

发明专利无效专利

申请号：
CN200780003356.9
IPC分类号：G03F7/075;C08F290/14;C08F299/08;C08G59/18;C08G77/04
申请日期：
2007-01-19
申请人：
旭化成电子材料元件株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	感光性树脂组合物
申请号	CN200780003356.9	申请日期	2007-01-19
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-02-25	公开/公告号	CN101375211
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/075 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕 G03F7/075 含硅的化合物〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;7;5;;;C;0;8;F;2;9;0;/;1;4;;;C;0;8;F;2;9;9;/;0;8;;;C;0;8;G;5;9;/;1;8;;;C;0;8;G;7;7;/;0;4查看分类表>
申请人	旭化成电子材料元件株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	旭化成电子材料元件株式会社	当前权利人	旭化成电子材料元件株式会社
发明人	小林隆昭;木村正志
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所	代理人	刘新宇;李茂家

摘要

本发明提供作为LSI芯片的缓冲涂层材料有用的感光性树脂组合物和由该感光性树脂组合物获得的树脂膜。为此，使用感光性树脂组合物、以及将该感光性树脂组合物涂覆在硅晶圆表面上并进行曝光、显影、固化而获得的树脂膜，其中，该感光性树脂组合物包含：以特定混合比将以特定的化学式表示的化合物缩聚而获得的缩聚物：100重量份、光聚合引发剂：0.01～5重量份和特定的有机硅烷：1～30重量份。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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