二维柔性铰链角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器

发明专利有效专利

申请号：
CN201210575872.1
IPC分类号：F16F15/027;G03F7/20
申请日期：
2012-12-19
申请人：
哈尔滨工业大学

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著录项信息

专利名称	二维柔性铰链角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器
申请号	CN201210575872.1	申请日期	2012-12-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-04-24	公开/公告号	CN103062317A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F16F15/027 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F16 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 F16F 弹簧；减震器；减振装置 F16F15/00 系统中振动的抑制（汽车座悬挂设备入B60N 2/50）；避免或减少不平衡力的装置或配置，如由于运动产生的不平衡力（检验静或动平衡的机器或结构入G01M 1/00） F16F15/02 非旋转系统振动的抑制，如往复系统；通过利用不与旋转系统一起运动的元件抑制旋转系统的振动（层状产品入B32B；船舶振动的抑制入B63） F16F15/023 使用流体装置〔6〕 F16F15/027 包括控制装置〔6〕	IPC分类号	F;1;6;F;1;5;/;0;2;7;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	谭久彬;崔俊宁;王雷
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

二维柔性铰链角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒之间分别气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，电机、位移传感器、限位开关与控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维近似零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频与超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

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