一种钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811445726.0
IPC分类号：C23C14/08;C23C14/34
申请日期：
2018-11-29
申请人：
南京信息工程大学

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著录项信息

专利名称	一种钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法
申请号	CN201811445726.0	申请日期	2018-11-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-01-25	公开/公告号	CN109267010A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/06 以镀层材料为特征的（C23C 14/04优先）〔4〕 C23C14/08 氧化物（C23C 14/10优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	南京信息工程大学	申请人地址	江苏省南京市江北新区宁六路219号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京信息工程大学	当前权利人	南京信息工程大学
发明人	费佳蕾;谷卓欣;吴红艳;张成远
代理机构	南京钟山专利代理有限公司	代理人	戴朝荣

摘要

本发明涉及一种钛氧化合物柔性光电腐蚀薄膜及其制备方法，借助双阴极辉光等离子放电作用在不锈钢箔基体表面溅射沉积钛氧化合物薄膜，将基体用丙酮进行超声清洗；之后将预处理好的基体放入等离子体炉内的试样台上完成样品表面钛氧化合物薄膜的制备。本发明以高纯金属元素为靶材，为了提高元素反应的供应量和供应效率，在基片和靶材周围形成双层辉光等离子放电，成膜仅需要10‑30min。本发明得到的薄膜与基体之间发生了互渗，因此基体与薄膜之间的结合强度高。本发明得到的薄膜表面质量高，且制备方法成本低，无污染，工艺流程较为简单，对基体本身的性能几乎无影响，不损伤基体。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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