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研磨液组合物

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200780047959.9
  • IPC分类号:H01L21/304
  • 申请日期:
    2007-12-28
  • 申请人:
    花王株式会社
著录项信息
专利名称研磨液组合物
申请号CN200780047959.9申请日期2007-12-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2009-10-28公开/公告号CN101568615
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/304
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IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人花王株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人花王株式会社当前权利人花王株式会社
发明人代田真美;米田康洋
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人白丽;陈建全
摘要
本发明提供一种研磨液组合物,其含有包含铈和锆的复合氧化物粒子、分散剂和水系介质,其中,在通过照射CuKα1射线(λ=0.154050nm)而获得的所述复合氧化物粒子的粉末X射线衍射光谱中,分别存在下述峰:顶点在衍射角2θ(θ为布拉格角)为28.61~29.67°的范围内的峰(第1峰);顶点在衍射角2θ为33.14~34.53°的范围内的峰(第2峰);顶点在衍射角2θ为47.57~49.63°的范围内的峰(第3峰);以及顶点在衍射角2θ为56.45~58.91°的范围内的峰(第4峰),并且,所述第1峰的半峰宽为0.8°以下。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供