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可聚合的单体

发明专利有效专利

申请号：
CN201110293953.8
IPC分类号：C07D239/10;C08F212/14;C08F220/36;G03F7/038
申请日期：
2011-07-28
申请人：
信越化学工业株式会社

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	可聚合的单体
申请号	CN201110293953.8	申请日期	2011-07-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-06-27	公开/公告号	CN102516181A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07D239/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07D 杂环化合物（高分子化合物入C08）〔2〕 C07D239/00 杂环化合物，含1，3-二嗪环或氢化1，3-二嗪环〔2〕 C07D239/02 不与其他环稠合〔2〕 C07D239/06 环原子间或环原子与非环原子间有1个双键〔2〕 C07D239/08 有杂原子直接连在位置2〔2〕 C07D239/10 氧或硫原子〔2〕	IPC分类号	C;0;7;D;2;3;9;/;1;0;;;C;0;8;F;2;1;2;/;1;4;;;C;0;8;F;2;2;0;/;3;6;;;G;0;3;F;7;/;0;3;8查看分类表>
申请人	信越化学工业株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	信越化学工业株式会社	当前权利人	信越化学工业株式会社
发明人	土门大将;渡边聪
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	任宗华

摘要

提供了一种式(1)的单体，其中R1是氢或者单价的C1-C6烃基，并且R2是具有聚合官能性的基团。使用该单体，能够将交联单元引入到聚合物链中。包括具有在其中引入交联单元的基础聚合物的化学放大负性抗蚀剂组合物具有高敏感性并且形成具有最小化的LER的抗蚀图案。

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