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一种利用超短脉冲激光制备硅基表面陷光结构的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210052373.4
IPC分类号：B23K26/18;B23K26/70;H01L31/18
申请日期：
2012-03-02
申请人：
江苏大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种利用超短脉冲激光制备硅基表面陷光结构的方法
申请号	CN201210052373.4	申请日期	2012-03-02
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-18	公开/公告号	CN102581484A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/18 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/18 在工件上采用吸收层，例如为作标记或起保护作用〔3〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;1;8;;;B;2;3;K;2;6;/;7;0;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	江苏大学	申请人地址	江苏省南通市海安市海安街道镇南路428号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南通通迈自动化科技有限公司	当前权利人	南通通迈自动化科技有限公司
发明人	李保家;周明;黄立静;张伟;唐万羿;马明;蔡兰
代理机构	南京经纬专利商标代理有限公司	代理人	楼高潮

摘要

本发明涉及硅基表面陷光结构，特指一种利用可见/近红外超短脉冲激光诱导制备硅基表面陷光结构的方法，可适用于晶体硅和薄膜硅等硅基材料。本发明的目的是克服在先技术上的不足，提供一种利用超短脉冲激光诱导制备硅基表面陷光结构的方法，无需气体或液体作为环境介质，通过表面贴膜法来实现硅基表面结构成形。

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