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平面载物台装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200610170146.6
  • IPC分类号:G03F7/20;H02K41/02;G12B5/00
  • 申请日期:
    2006-12-22
  • 申请人:
    优志旺电机株式会社
著录项信息
专利名称平面载物台装置
申请号CN200610170146.6申请日期2006-12-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2007-06-27公开/公告号CN1987661
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;H;0;2;K;4;1;/;0;2;;;G;1;2;B;5;/;0;0查看分类表>
申请人优志旺电机株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人优志旺电机株式会社当前权利人优志旺电机株式会社
发明人田中米太
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人陈英俊
摘要
本发明提供一种平面载物台装置,不使用重的定盘,也可以使平面载物台表面保持高精度的平面,装置重量轻,且制作成本也便宜。由支承构件(10)在3处以上支承载置工件用的平面板(1)。并且,设置将此平面板(1)沿XY轴方向移动的驱动机构。上述支承构件(10)具备与平面板(1)相对置配置的空气轴承,通过该支承构件(10)使上述平面板(1)浮起,并且,用任意的推力使平面板(1)沿与该平面板(1)的平面相垂直的方向位移。而且,使平面板的位移状态保持被选择的位移状态,使上述平面板的载置工件的面保持水平且平面。

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