制造多晶锭的系统

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020259652.4
IPC分类号：C30B28/06;C30B29/06
申请日期：
2010-07-08
申请人：
王敬

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法律信息

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著录项信息

专利名称	制造多晶锭的系统
申请号	CN201020259652.4	申请日期	2010-07-08
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B28/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B28/00 制备具有一定结构的均匀多晶材料〔5〕 C30B28/04 由液态制备〔5〕 C30B28/06 正常凝固法或温度梯度凝固法〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;8;/;0;6;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	王敬	申请人地址	北京市海淀区清华大学南零楼3单元202室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	王敬	当前权利人	王敬
发明人	王敬
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	黄德海

摘要

本实用新型公开了一种制造多晶锭的系统，包括上炉体；下炉体；坩埚，所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料；至少一个加热器，用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料；坩埚保持器，用于保持所述坩埚；坩埚支座，容纳有所述坩埚的所述坩埚保持器设置在所述坩埚支座上；隔热部件，所述隔热部件容纳在所述炉体空间内，并被构造成相对于所述坩埚纵向可移动；以及换热单元，所述换热单元用于控制来自坩埚底部的热量耗散，并在多晶锭凝固和/或冷却的过程中在坩埚支座之下形成用于散热的流路。根据本实用新型的系统，可以在保证多晶锭的质量的同时，提高整个多晶锭的生产效率。

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