一种膜切割结构及贴膜装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120349626.9
IPC分类号：B65H35/06;H01L21/677
申请日期：
2021-02-07
申请人：
苏州镭明激光科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种膜切割结构及贴膜装置
申请号	CN202120349626.9	申请日期	2021-02-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65H35/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65H 搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索 B65H35/00 从切割或直线穿孔机发送物件；装有切割或直线穿孔装置的物件或条材发送装置，例如胶粘带发放器（一般切割或穿孔机或装置入B26D，B26F） B65H35/04 从或带有横向切断机或穿孔器的 B65H35/06 从或带有刀片，如剪切刀片、切断机或穿孔器的（从或带有旋转刀片的入B65H 35/08）	IPC分类号	B;6;5;H;3;5;/;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人	苏州镭明激光科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市金鸡湖大道99号04幢102室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州镭明激光科技有限公司	当前权利人	苏州镭明激光科技有限公司
发明人	施心星
代理机构	北京恒博知识产权代理有限公司	代理人	范胜祥

摘要

本申请公开了一种膜切割结构及贴膜装置，膜切割结构包括贴膜台、压膜组件和切膜组件，贴膜装置的第一抓料组件用于抓取支撑环放于晶圆外围，通过膜切割结构的贴膜组件将粘接膜贴附并裁切于晶圆和支撑环上。在晶圆外围同轴设置支撑环，支撑环可为贴膜后的晶圆提供支撑，便于晶圆的转运以及转运过程中的稳定性。控制膜切割结构的旋转驱动件带动切刀旋转，并使切刀与粘接膜接触，可裁切出圆心与晶圆中心轴重叠的圆形粘接膜，裁切方式和裁切结构简单，适用性高，便于提高晶圆加工效率。

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