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半导体装置及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201510093121.X
  • IPC分类号:H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336
  • 申请日期:
    2015-03-02
  • 申请人:
    株式会社东芝
著录项信息
专利名称半导体装置及其制造方法
申请号CN201510093121.X申请日期2015-03-02
法律状态撤回申报国家暂无
公开/公告日2016-10-05公开/公告号CN105990432A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/78
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;;;H;0;1;L;2;9;/;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6查看分类表>
申请人株式会社东芝申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社东芝当前权利人株式会社东芝
发明人富田幸太;前山贤二
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人张世俊
摘要
本发明涉及一种半导体装置及其制造方法。本发明提供一种向半导体层施加的应力可缓和的半导体装置。本发明的半导体装置包括:第一导电型第一半导体层;第一导电型第二半导体层,设在第一半导体层上;第二导电型第三半导体层,选择性地设在第二半导体层上;第一导电型第四半导体层,设在第三半导体层上;第一电极,隔着绝缘膜设在第二、第三、第四半导体层;第二电极,设在第四半导体层上,且连接第四半导体层;第三电极,与第二电极分离,一端与第一半导体层相接,另一端位于第二半导体层表面侧;且该半导体装置包含:第二半导体层的表面、及与第三电极相接且与第二半导体层的表面相连的面,第二半导体层的表面与该面成直角或钝角。

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