一种有筛网式硅粉阻挡器的三氯硅烷合成装置

本实用新型涉及一种包括氯化氢气体供气管道（18）、氯化氢气体缓冲室（17）、氯化氢气体分配板（50）、氯化氢与硅粉反应的反应室（11）、硅粉加料口（14）、硅粉和气体进行分离的气-固分离室（12）及反应气体取出口（13）的三氯硅烷合成装置（10a），还包括一筛网式硅粉阻挡器（60a）和旋转式吹气管(32)，所述的筛网式硅粉阻挡器（60a）包括：筛网线(62a)、由筛网线(62a)编织组成的方形孔(61a)、加固环(63a)制成筛网（64a）和将多层所述的筛网（64a）的加固环(63a)连接的支柱(65a)。所述的筛网式硅粉阻挡器（60a）被安装在三氯硅烷合成装置反应室(11)上部的扩径部的上部气固分离室(12)中，在所述气固分离室顶部的吹气管(32)下方；所述的吹气管(32)可以旋转将高压气体吹送到硅粉阻挡器（60a）的各部位。按照本实用新型，上升到气固分离室（12）里的硅粉部分地沉降或吸附在硅粉阻挡器（60a）上，并被载气吹送返回到反应室（11）里与氯化氢气体反应，因此，三氯硅烷转化率高，节约能源，生产效率高。