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一种管式PECVD上料小车

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201120138078.1
  • IPC分类号:C23C16/00;C23C16/44
  • 申请日期:
    2011-05-04
  • 申请人:
    百力达太阳能股份有限公司
著录项信息
专利名称一种管式PECVD上料小车
申请号CN201120138078.1申请日期2011-05-04
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/00IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;0;0;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人百力达太阳能股份有限公司申请人地址
浙江省嘉兴市桐乡市河山镇工业园 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人百力达太阳能股份有限公司当前权利人百力达太阳能股份有限公司
发明人沈凯锋
代理机构上海申汇专利代理有限公司代理人翁若莹
摘要
本实用新型涉及一种管式PECVD上料小车,包括底部车轮,底部车轮设置在车轮罩内,车轮罩固定在结构框架上,结构框架的后侧设置有推车扶手,结构框架的顶部设置有转动轴,转动轴连接转动扶手,转动轴上设置有石墨舟存放台面,其特征在于,结构框架的侧面固定有手动伸缩气缸,石墨舟存放台面的边缘处设有定位孔,手动伸缩气缸的伸缩杆的顶端设于定位孔内。本实用新型可使石墨舟存放台面的位置固定,确保石墨舟存放台面的定位精确度,提高机械手取石墨舟的准确度,避免造成石墨舟碎裂,防止产生硅片碎片。

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