一种阵列基板、其静电释放方法及相应装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201510673778.3
IPC分类号：H01L27/12;H01L23/60;H01L27/32
申请日期：
2015-10-16
申请人：
京东方科技集团股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种阵列基板、其静电释放方法及相应装置
申请号	CN201510673778.3	申请日期	2015-10-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-02-03	公开/公告号	CN105304645A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L27/12 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件（其零部件入H01L 23/00，H01L 29/00至H01L 51/00；由多个单个固态器件组成的组装件入H01L 25/00）〔2，8〕 H01L27/02 包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的〔2〕 H01L27/12 其衬底为非半导体的，例如为绝缘体的〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;7;/;1;2;;;H;0;1;L;2;3;/;6;0;;;H;0;1;L;2;7;/;3;2查看分类表>
申请人	京东方科技集团股份有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京东方科技集团股份有限公司	当前权利人	京东方科技集团股份有限公司
发明人	盖翠丽;李全虎
代理机构	北京同达信恒知识产权代理有限公司	代理人	黄志华

摘要

本发明公开了一种阵列基板、其静电释放方法及相应装置，该阵列基板增加了短路环单元，这样在阵列基板的制作工艺中，蒸镀阴极产生大量的静电时，由于阴极与静电释放回路中的电源信号线相连，因此电源信号线上产生大量静电，此时电源信号线可通过短路环单元将静电快速释放到静电释放回路；而当栅线或数据线上产生静电时，栅线和数据线可通过与其相连的静电释放单元将静电释放到电荷释放信号线上，进而通过与其邻近的短路环单元快速释放到电源信号线，从而将静电快速释放，相对于现有技术需要通过路径较长的静电释放回路进行静电释放，可以避免静电释放不及时的问题，提高了静电释放的效率，提高了阵列基板的性能。

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