一种精准测量弱刚性薄形零件厚度的装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011010510.9
IPC分类号：G01B21/08;G01B21/20;G01B21/32
申请日期：
2020-09-23
申请人：
复旦大学

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专利名称	一种精准测量弱刚性薄形零件厚度的装置及方法
申请号	CN202011010510.9	申请日期	2020-09-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-12-22	公开/公告号	CN112113527A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B21/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B21/00 不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件〔3〕 G01B21/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 21/10优先）〔3〕 G01B21/08 用于计量厚度〔3〕	IPC分类号	G;0;1;B;2;1;/;0;8;;;G;0;1;B;2;1;/;2;0;;;G;0;1;B;2;1;/;3;2查看分类表>
申请人	复旦大学	申请人地址	上海市杨浦区邯郸路220号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	复旦大学	当前权利人	复旦大学
发明人	王伟;周冠宇;张祥朝;徐敏
代理机构	郑州翊博专利代理事务所（普通合伙）	代理人	付红莉

摘要

本发明属于弱刚性薄形零件检测技术领域，具体涉及一种精准测量弱刚性薄形零件厚度的装置及方法。该装置包括基板，基板上设有与基板转动配合的真空回转工作台，真空回转工作台的两侧对称设有两个竖直导轨，两个竖直导轨之间设有横向导轨，横向导轨的两端分别与竖直导轨滑动连接；横向导轨上设有与横向导轨滑动连接的测量探针。本发明通过旋转真空回转工作台和调整测量探针的横向位移，对置于真空回转工作台上的弱刚性薄形零件的两个测量面对应的各个位点的坐标进行螺线式扫描检测，通过计算得到待测零件各个检测位点的厚度值，从而获取弱刚性薄形零件表面的形变信息，对弱刚性薄形零件的加工应用具有重要指导作用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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