一种具有自退让性的固结磨粒化学机械抛光垫及其制备方法和应用

发明专利有效专利

申请号：
CN202110870723.7
IPC分类号：B24B37/22;B24B37/24;B24B37/26;C09G1/02
申请日期：
2021-07-30
申请人：
河南科技学院

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专利名称	一种具有自退让性的固结磨粒化学机械抛光垫及其制备方法和应用
申请号	CN202110870723.7	申请日期	2021-07-30
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-26	公开/公告号	CN113547449A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/22 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/11 研具〔2012.01〕 B24B37/20 用于加工平面的研磨垫〔2012.01〕 B24B37/22 以多层结构为特征〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;2;2;;;B;2;4;B;3;7;/;2;4;;;B;2;4;B;3;7;/;2;6;;;C;0;9;G;1;/;0;2查看分类表>
申请人	河南科技学院	申请人地址	河南省新乡市华兰大道东段河南科技学院机电学院变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河南科技学院	当前权利人	河南科技学院
发明人	苏建修;王占奎;李勇峰;张亚奇;冯宜鹏;逄明华;付成果;刘海旭
代理机构	北京高沃律师事务所	代理人	刘丹丹

摘要

本发明涉及超精密加工技术领域，尤其涉及一种具有自退让性的固结磨粒化学机械抛光垫及其制备方法和应用。本发明的固结磨粒化学机械抛光垫包括纹理层和基体层；纹理层中含有退让剂，配合基体层的压缩功能，使固结磨粒在抛光压力下具有较强的退让性，磨粒可实现随抛光压力的变化而上下退让，解决了磨粒尺寸不一致、磨粒的凸刃高度不同问题；可实现加工过程中每个磨粒的切深均匀一致，进而减少或避免了大尺寸磨粒产生表面划痕的可能性；同时提高了单位时间内参与化学机械抛光的磨粒数量，不仅可提高生产效率及表面质量，还可有效实现塑性域加工，降低生产成本，可用于SiC单晶及其他硬脆性晶体材料、光学材料的大面积精密化学机械抛光。

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