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表面处理装置及液晶显示装置的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410058892.7
  • IPC分类号:G02F1/133;H01L21/304;B08B1/04
  • 申请日期:
    2004-08-03
  • 申请人:
    株式会社日立显示器
著录项信息
专利名称表面处理装置及液晶显示装置的制造方法
申请号CN200410058892.7申请日期2004-08-03
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-04-06公开/公告号CN1603894
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/133IPC分类号G;0;2;F;1;/;1;3;3;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;B;0;8;B;1;/;0;4查看分类表>
申请人株式会社日立显示器申请人地址
日本千叶县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人松下液晶显示器株式会社,株式会社IPS先驱支援会社,株式会社日本显示器,株式会社日本显示器东当前权利人松下液晶显示器株式会社,株式会社IPS先驱支援会社,株式会社日本显示器,株式会社日本显示器东
发明人高原洋一;山田将弘;大録范行;浅香昭二;高桥知顕;川中子宽;山本英明
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人邱耀锋
摘要
提供一种表面处理装置及液晶显示装置的制造方法。该清洗装置具有使转动的清洗刷接近基板的清洗刷驱动机构,对转动中的清洗刷的刷洗材前端的接触分离而在基板上形成的多个导体图形中发生的电位进行计测并利用该结果对清洗刷的定位进行控制。由此,可以利用清洗刷对以大型基板为对象的被清洗面进行均匀的清洗处理,结果可以以高成品率在清洗后的基板上形成高品质的液晶显示用晶体管。

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