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脉冲调制高频功率控制方法以及脉冲调制高频电源装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201080026414.1
IPC分类号：H05H1/46;H01L21/205;H01L21/3065;H03F3/217;H03K5/00;H03K5/156;H05H1/00
申请日期：
2010-03-05
申请人：
株式会社京三制作所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	脉冲调制高频功率控制方法以及脉冲调制高频电源装置
申请号	CN201080026414.1	申请日期	2010-03-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-23	公开/公告号	CN102474971A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/46 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/46 应用外加电磁场的，例如高频能或微波能（H05H 1/26优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;4;6;;;H;0;1;L;2;1;/;2;0;5;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;5;;;H;0;3;F;3;/;2;1;7;;;H;0;3;K;5;/;0;0;;;H;0;3;K;5;/;1;5;6;;;H;0;5;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人	株式会社京三制作所	申请人地址	日本神奈川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社京三制作所	当前权利人	株式会社京三制作所
发明人	让原逸男;秦佳久
代理机构	北京银龙知识产权代理有限公司	代理人	许静;郭凤麟

摘要

本发明提供一种脉冲调制高频功率控制方法，具有用于控制脉冲输出的振幅的输出振幅控制步骤和用于控制脉冲输出的占空比的占空比控制步骤。输出振幅控制步骤控制脉冲输出的振幅值，进行使振幅值成为设定振幅值的恒定振幅控制。基于输出振幅控制的恒定振幅控制，例如反馈通过功率控制输出的脉冲输出的振幅值，求出该反馈值和预先设定的设定振幅值的差值，控制脉冲输出的振幅值使该差值成为零。

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