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一种双层叠电场引导的精细线路的定向修复方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110662839.1
  • IPC分类号:H05K3/22
  • 申请日期:
    2021-06-15
  • 申请人:
    广东工业大学
著录项信息
专利名称一种双层叠电场引导的精细线路的定向修复方法
申请号CN202110662839.1申请日期2021-06-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2021-09-17公开/公告号CN113411982A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H05K3/22IPC分类号H;0;5;K;3;/;2;2查看分类表>
申请人广东工业大学申请人地址
广东省广州市东风东路729号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东工业大学当前权利人广东工业大学
发明人杨冠南;李泽波;张昱;崔成强
代理机构北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙)代理人王灿
摘要
本发明属于集成电路技术领域,公开了一种双层叠电场引导的精细线路的定向修复方法,具体为先将待修复线路板与完整线路板堆叠;然后向堆叠线路板通电,使上层和下层线路板的线路所带电荷相反;再使纳米颗粒带有与待修复线路相同的电荷,通过流体输运带电纳米颗粒,填补待修复线路板上的缺陷;同时,将待修复线路板加热,烧结纳米颗粒,并实时检测线路是否导通,直到线路导通并达到所需电性能,即完成线路的定向修复。本发明利用异种电荷相互吸引的原理,以通有异向电流的两块线路板之间有静电屏蔽作用为基础,在待修复线路板上覆盖同种电荷的金属颗粒,完成缺陷线路的定向修复,操作简单,针对性强,利于工业实际应用。

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