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一种四工位转靶冷却装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821681661.5
  • IPC分类号:C23C14/35
  • 申请日期:
    2018-10-16
  • 申请人:
    南京欧德工程技术有限公司
著录项信息
专利名称一种四工位转靶冷却装置
申请号CN201821681661.5申请日期2018-10-16
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人南京欧德工程技术有限公司申请人地址
江苏省南京市江宁区东山街道永胜路97号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京欧德工程技术有限公司当前权利人南京欧德工程技术有限公司
发明人王军岭
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型涉及一种四工位转靶冷却装置,涉及真空磁控溅射镀膜技术领域,包括与镀膜机固定的固定板,所述固定板上转动设有靶轴,所述靶轴端部固定设有靶材筒,所述靶材筒内设有冷却腔,所述固定板上固定有套设在靶轴外的套筒,所述套筒内环绕靶轴设有进水腔,所述靶轴内设有冷却管,所述冷却管一端延伸至靶材筒内,另一端延伸至套筒内,所述靶轴上设有将冷却管与进水腔连通的进水孔。冷却时,冷却水通过进水嘴以及进水孔,进入到冷却管内,最终被输出到冷却腔内,由于冷却腔是位于靶材筒内部,因此,冷却腔可以完全覆盖靶材筒,热量传递十分均匀,可以有效的提高靶材筒的冷却效果。

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