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自动调整紫外激光光束位置的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201611195388.0
  • IPC分类号:G02B6/02;G03F7/20
  • 申请日期:
    2016-12-22
  • 申请人:
    南京理工大学
著录项信息
专利名称自动调整紫外激光光束位置的方法
申请号CN201611195388.0申请日期2016-12-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-05-24公开/公告号CN106707403A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B6/02IPC分类号G;0;2;B;6;/;0;2;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人南京理工大学申请人地址
江苏省南京市玄武区孝陵卫200号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京理工大学当前权利人南京理工大学
发明人沈华;舒剑;朱日宏;汤亚洲;葛诗雨;张秋庭
代理机构南京理工大学专利中心代理人朱沉雁
摘要
本发明公开了一种自动调整紫外激光光束位置的方法,包括准分子紫外激光器、第一反射镜、电控平移台、第二反射镜、柱面镜、相位掩膜板和光纤,准分子紫外激光器发出紫外光束,经第一反射镜反射至第二反射镜,经第二反射镜反射至柱面镜,经柱面镜聚焦至相位掩膜板,并入射至光纤,部分紫外光射入光纤内部导致光纤纤芯透射光功率发生改变,通过光功率计测量纤芯透射光功率是否处于最大值,并将光功率计所测数据送入计算机,若不是最大值,计算机反馈一个信号给压电陶瓷,压电陶瓷接收信号并调整第二反射镜,使紫外光束准确的照射在光纤上,使得在光纤纤芯透射光功率最大。本发明具有精度高、响应快、自动调节等优点。

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