加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

具有纳米线结构的电容器及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210144846.3
  • IPC分类号:H01L29/92;H01L21/02
  • 申请日期:
    2012-05-10
  • 申请人:
    复旦大学
著录项信息
专利名称具有纳米线结构的电容器及其制备方法
申请号CN201210144846.3申请日期2012-05-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-09-05公开/公告号CN102655176A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/92
?
IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;9;2;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人复旦大学申请人地址
上海市杨浦区邯郸路220号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人复旦大学当前权利人复旦大学
发明人吴东平;陈玫瑰;许鹏;张卫;张世理
代理机构上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)代理人卢刚
摘要
本发明涉及半导体工艺技术领域,公开了一种具有纳米线结构的电容器及其制备方法。在本发明中,先在衬底上形成第一导电层;然后在第一导电层上制备金属半导体化合物纳米线,构成底层金属;依次在底层金属上形成介质层、金属层,并由该金属层构成上层金属。本发明通过在第一导电层上制备金属半导体化合物纳米线,构成电容器结构的底层金属,增加了电容器结构的电极面积,从而增大了电容器的电容量;由于在第一导电层上制备的金属半导体化合物具有纳米线结构,使得构成的底层金属具备立体结构,因此可使得电容器结构在同等芯片面积下,增加了电容表面积,从而增大了电容器的电容量,即提供了小尺寸大容量的电容器结构。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供