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光学元件内凹面抛光方法及装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810223239.X
  • IPC分类号:B24B13/00;B24B1/00;C09G1/02
  • 申请日期:
    2008-09-28
  • 申请人:
    清华大学
著录项信息
专利名称光学元件内凹面抛光方法及装置
申请号CN200810223239.X申请日期2008-09-28
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日2009-01-28公开/公告号CN101352826
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B13/00IPC分类号B;2;4;B;1;3;/;0;0;;;B;2;4;B;1;/;0;0;;;C;0;9;G;1;/;0;2查看分类表>
申请人清华大学申请人地址
北京市-82信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人清华大学当前权利人清华大学
发明人冯之敬;左巍;辛科;张云
代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司代理人张文宝
摘要
本发明属于精密光学抛光加工技术领域,特别涉及一种光学元件内凹面抛光方法及装置。待加工工件内凹面下方固定一个和待加工内凹面形状吻合的带有槽路的芯模,工件绕自身回转轴旋转并保持与芯模一个微小间隙,并通过外磁极工具头及内磁极激励线圈对加工区域施加磁场,带有抛光磨料的磁流变液沿槽路流经加工区域时在磁场作用下形成柔性抛光头吸附于内凹面并产生抛光作用。本发明可以实现小曲率半径或具有深腔结构的共形光学元件及其它回转对称高陡度非球面的内凹面抛光,并可以采用计算机控制抛光去除分布,具备抛光面形控制能力,兼有高精度高表面质量的优点。

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