制造装置的控制管理系统

发明专利无效专利

申请号：
CN03826787.X
IPC分类号：H01L21/02;H05K13/08;G05B19/418
申请日期：
2003-07-30
申请人：
NEC机械股份有限公司

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专利名称	制造装置的控制管理系统
申请号	CN03826787.X	申请日期	2003-07-30
法律状态	撤回	申报国家	暂无
公开/公告日	2006-08-16	公开/公告号	CN1820351
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;5;K;1;3;/;0;8;;;G;0;5;B;1;9;/;4;1;8查看分类表>
申请人	NEC机械股份有限公司	申请人地址	日本滋贺县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	NEC机械股份有限公司	当前权利人	NEC机械股份有限公司
发明人	喜多村章司
代理机构	北京中原华和知识产权代理有限责任公司	代理人	寿宁

摘要

本发明是提供一种基于种类参数而进行制造的制造装置(3)的管理控制系统，其包括：判断电路(5)，其从制造装置(3)的运转信息(a)中提取错误信息(b)；错误抑制电路(6)，其提取用以与已提取的错误信息(b)相对应的错误避免的参数(d)，并可变地控制制造装置(3)的种类参数，并且从存储由制造装置(3)制造的各种工作产品的各种参数和用于错误避免的数据的产品制法数据库部(11)，通过产品检索引擎部(12)检索与由制造装置(3)制造的工作产品相对应的数据，并设置制造装置(3)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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