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一种新型等离子清洗机的腔体清洗装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921741297.1
IPC分类号：B08B7/00
申请日期：
2019-10-17
申请人：
江苏胜辉半导体设备有限公司;张春辉

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种新型等离子清洗机的腔体清洗装置
申请号	CN201921741297.1	申请日期	2019-10-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B7/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B7/00 不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法	IPC分类号	B;0;8;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人	江苏胜辉半导体设备有限公司;张春辉	申请人地址	江苏省徐州市经济技术开发区凤凰湾电子信息产业园A9号厂房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏胜辉半导体设备有限公司,张春辉	当前权利人	江苏胜辉半导体设备有限公司,张春辉
发明人	张春辉
代理机构	北京酷爱智慧知识产权代理有限公司	代理人	邹成娇

摘要

本实用新型属于离子清洗机技术领域，具体涉及一种新型等离子清洗机的腔体清洗装置，包括射频供电模块、匹配器和清洗腔；所述清洗腔包括腔体和位于所述腔体内的电极框架；所述射频供电模块的输出端接匹配器的输入端，所述匹配器的输出端接电极框架，所述腔体接地。本实用新型采用单层电极设计，将电极框架作为阳极电极，将腔体作为阴极电极，结构简单，易于清洗保养，降低了生产成本。

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