丙酮气敏传感器及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410621459.3
IPC分类号：G01N27/12
申请日期：
2014-11-05
申请人：
中国科学院重庆绿色智能技术研究院

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引证文献

著录项信息

专利名称	丙酮气敏传感器及其制备方法
申请号	CN201410621459.3	申请日期	2014-11-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-01-21	公开/公告号	CN104297303A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/04 通过测试电阻 G01N27/12 与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;1;2查看分类表>
申请人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	申请人地址	重庆市北碚区方正大道266号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	当前权利人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
发明人	傅剑宇;吴迪;周博天;袁野;严胡勇
代理机构	成都赛恩斯知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张帆;肖国华

摘要

本发明提供了一种丙酮气敏传感器，包括：底座，底座包括镂空结构；支撑层，一侧与底座的正面复合，且支撑层悬空地架设在镂空结构上；加热电阻，设置在支撑层的另一侧；绝缘层，复合在加热电阻及支撑层的另一侧；两个电极，间隔地设置在绝缘层的远离支撑层一侧的表面上；对丙酮气体敏感的敏感层，设置在绝缘层的外侧，且两个电极分别与敏感层的两侧连接。由于支撑层悬空地架设在镂空结构上，因此构成了不含底座材料的多层膜结构，有效降低了结构热导，加热电阻在低功率的情况下就能使敏感层温度升至工作温度，从而进一步降低了丙酮气敏传感器功耗，使器件具有高集成度、低功耗的特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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