一种光伏电池生产用硅片清洗机

发明专利有效专利

申请号：
CN202110398143.2
IPC分类号：H01L21/67;H01L31/18;B03C1/12;B08B3/06;B08B3/08;B08B13/00
申请日期：
2021-04-14
申请人：
华丽

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著录项信息

专利名称	一种光伏电池生产用硅片清洗机
申请号	CN202110398143.2	申请日期	2021-04-14
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-16	公开/公告号	CN113130355A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;B;0;3;C;1;/;1;2;;;B;0;8;B;3;/;0;6;;;B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	华丽	申请人地址	江苏省扬州市宝应县安宜镇齐心村十二组38号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华丽	当前权利人	华丽
发明人	华丽
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及光伏电池技术领域，且公开了一种光伏电池生产用硅片清洗机，包括固定架、中心支撑柱和升降装置。通过液箱和清洗装置的设置，使得对硅片的表面杂质进行清洗时，旋转装置浸入清洗溶液中，并进行高速旋转，使得硅片的表面与溶液进行切向接触，利用旋转力，硅片的表面与溶液接触并碰撞，快速去除表面杂质，提高杂质清除效果，并加强溶液与硅片表面油污的反应，同时，清洗结束后，使得清洗装置脱离清洗溶液后，仍在液箱中进行旋转，将粘附在清洗装置上的清洗溶液在离心力的作用下进行甩干，避免这一清洗溶液进入下一清洗阶段所需的溶液中，导致溶液失效，降低清洗成本，提高硅片的清洗速度和质量。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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